Bộ đo điện trở bề mặt SLD-699

1. Bộ đo điện trở bề mặt SLD-699

Bộ đo điện trở bề mặt SLD-699: Surface resistance tester SLD-699, thiết bị kiểm tra điện trở SLD-699.

Thông số thiết bị đo SLD-699:

Dải đo điện trở 10^3 – 10^12Ohm

Sai số hiển thị: ±10%

Kích thước: 70x27x130mm

Trọng lượng: 140g

Pin: 9V

2. Điện trở bề mặt

Điện trở mặt là một đại lượng vật lý biểu diễn cho điện trở của mặt mỏng có độ dày đồng nhất.

Đơn vị của điện trở mặt là Ω/□(ohm/square).

Điện trở bề mặt (RS) thường được định nghĩa là điện trở suất (ρ) của vật liệu chia cho độ dày của nó (t).

Đo điện trở bề mặt:
Kỹ thuật chính để đo điện trở bề mặt là phương pháp bốn đầu dò (còn được gọi là kỹ thuật Kelvin).

Nó được thực hiện bằng cách sử dụng một đầu dò bốn điểm.

Một đầu dò bốn điểm bao gồm bốn đầu dò điện trên một đường thẳng, với khoảng cách bằng nhau giữa mỗi đầu dò như thể hiện trong hình sau:

Nó hoạt động bằng cách đặt một dòng điện (I) vào hai đầu dò bên ngoài và đo điện áp rơi giữa hai đầu dò bên trong. Sau đó có thể tính toán điện trở tấm bằng công thức dưới đây:

Phương trình thăm dò bốn điểm
Cần lưu ý rằng phương trình này chỉ có giá trị nếu:

i) vật liệu được thử nghiệm không dày hơn 40% khoảng cách giữa các đầu dò

ii) kích thước bên của mẫu đủ lớn.

Nếu không đúng như vậy, thì các hệ số hiệu chỉnh hình học là cần thiết để tính đến kích thước, hình dạng và độ dày của mẫu.

Giá trị của yếu tố này phụ thuộc vào hình dạng được sử dụng và được đề cập chi tiết trong phần tiếp theo.